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基于SEM的纳米器件制造中多机器人操作机理与自主协调控制研究

批准号61433010 学科分类机器人学及机器人技术 ( F0306 )
负责人孙立宁 职称 单位名称苏州大学
资助金额 340 万元 项目类别 起止年月 2015年01月01日 至 2019年12月31日
主题词
附注说明

成果

序号 课题 类型 参与人

摘要

结题摘要

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