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FBAR中氮化铝薄膜的制备及其声学特性的研究

批准号10404014 学科分类超声学、量子声学和声学效应 ( A040503 )
负责人公勋 职称副教授 单位名称南京大学
资助金额 30万元 项目类别 青年科学基金项目 起止年月 2005年01月01日 至 2007年12月31日
主题词 压电薄膜;AlN;FBAR;谐振器
附注说明 FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator),薄膜体波谐振器,是通过在半导体基板如硅,砷化镓等上面生长压电薄膜制成的新兴器件。由FBAR构成的滤波器有高频化、小型化和轻量化的特点,是唯一能够满足未来无线通信网络需要的第三代滤波器技术。因FBAR器件还可以和其他电子器件集成在同一块硅片上,所以在芯片系统(SOC:system on chip)研究中,也是核心技术之一。在FBAR结构中,氮化铝(AlN)被认为是最有前景的压电薄膜材料。本项目将首先研究高质量AlN薄膜的制备问题。其次,对其基本特性,主要是声学特性,如结晶特性,压电特性、弹性特性、温度特性,声衰减特性以及电学特性等进行研究。再次,用有限元法分析由AlN薄膜构成的FBAR的谐振特性,谐振频率温度稳定性和寄生杂波特性等。其中,如何提高FBAR中组成布拉格反射器的声反射效率是我们研究的重要任务之一。

成果

序号 课题 类型 参与人
0 Xiaoli Shang, Xun Gong* Jun Xi 会议 Xiaoli Shang, Xun Gong* Jun Xi
1 Frequency shift of thickness-s 期刊 Yun Jing, Jin Chen, Xiao Chen,
2 Xun Gong*, Min Han, Xiaoli Sha 期刊 Xun Gong*, Min Han, Xiaoli Sha
3 Stress-induced frequency shift 期刊 Yun Jing, Jin Chen, Xun Gong,
4 Yun Jing, Xun Gong*, Jin Chen, 期刊 Yun Jing, Xun Gong*, et al
5 双延迟线法测量SAW速度 期刊 熊军、公勋*、商晓莉、段杰
6 加速度对Y型石英谐振器频率变化 期刊 景云,商晓莉,段杰,公勋*

摘要

结题摘要 FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator),薄膜体波谐振器,是通过在半导体基板如硅,砷化镓等上面生长压电薄膜制成的新兴器件。由FBAR构成的滤波器有高频化、小型化和轻量化的特点,是唯一能够满足未来无线通信网络需要的第三代滤波器技术。因FBAR器件还可以和其他电子器件集成在同一块硅片上,所以在芯片系统(SOC:system on chip)研究中,也是核心技术之一。在FBAR结构中,氮化铝(AlN)被认为是最有前景的压电薄膜材料。本项目将首先研究高质量AlN薄膜的制备问题。其次,对其基本特性,主要是声学特性,如结晶特性,压电特性、弹性特性、温度特性,声衰减特性以及电学特性等进行研究。再次,用有限元法分析由AlN薄膜构成的FBAR的谐振特性,谐振频率温度稳定性和寄生杂波特性等。其中,如何提高FBAR中组成布拉格反射器的声反射效率是我们研究的重要任务之一。

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