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复杂曲面微结构的投影式激光振镜扫描刻蚀新原理、新方法

批准号51135005 学科分类高能束加工工艺与装备 ( E050904 )
负责人曾晓雁 职称 单位名称华中科技大学
资助金额 290万元 项目类别 起止年月 2012年01月01日 至 2016年12月31日
主题词
附注说明

成果

序号 课题 类型 参与人

摘要

结题摘要

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